產(chǎn)品介紹
半導(dǎo)體及封裝
Milara 晶圓傳送機(jī)械手臂 / 晶圓尋邊器
Diamond E5 電梯傳送模組
[簡(jiǎn)介&摘要]
- 應(yīng)用於真空環(huán)境下之電梯機(jī)構(gòu)負(fù)責(zé)晶圓Load/Unload
- 控制器與運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)皆內(nèi)建在主體內(nèi)部，節(jié)省設(shè)備空間
- 無(wú)碳刷伺服馬達(dá)設(shè)計(jì)，反應(yīng)時(shí)間快，沒(méi)有碳刷磨損問(wèn)題
- 通訊界面: RS-232、Ethernet
- MTBF > 60,000 小時(shí)
- 符合無(wú)塵室等級(jí):1
- 符合SEMI規(guī)範(fàn)
[適用產(chǎn)業(yè)&應(yīng)用範(fàn)圍]
半導(dǎo)體封裝，發(fā)光二極體，模組及其他等。
[規(guī)格&型號(hào)]
Diamond E5 電梯傳送模組
- 支援尺寸 : Wafer Size 2”(50mm) to 12”(300mm)
- 承重 : 55.1 lbs(25 kg)
- 手臂重量 : 45.6 lbs(21 kg)
- 操作溫度 : 50°F-104°F (10°C to 40°C)
- 電壓需求 : 100-120AVC, 200-240VAC