[簡介&摘要]

- 應(yīng)用於真空環(huán)境下之電梯機(jī)構(gòu)負(fù)責(zé)晶圓Load/Unload
- 控制器與運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)皆內(nèi)建在主體內(nèi)部，節(jié)省設(shè)備空間
- 無碳刷伺服馬達(dá)設(shè)計，反應(yīng)時間快，沒有碳刷磨損問題
- 通訊界面: RS-232、Ethernet
- MTBF > 60,000 小時
- 符合無塵室等級:1
- 符合SEMI規(guī)範(fàn)

[適用產(chǎn)業(yè)&應(yīng)用範(fàn)圍]

半導(dǎo)體封裝，發(fā)光二極體，模組及其他等。