[簡介&摘要]

旋轉(zhuǎn)塗佈機(jī) SM系列是手動或半自動薄膜塗佈的最佳選擇，適用於表面沒有或有非常矮結(jié)構(gòu)的晶圓或基板塗佈作業(yè)。所有市面上的光阻與塗層材料都可應(yīng)用。適用產(chǎn)品尺寸，從樣品尺寸 8mm 到12" 晶圓，皆可使用。  

SM 系列的優(yōu)點(diǎn)在於，具有令人信賴的膜厚均一性和製程重複性，並且操作簡單。為了使花費(fèi)在製程區(qū)清潔上的時間最小化，SAWATEC 開發(fā)了一種非常實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的製程區(qū)保護(hù)碗。製程結(jié)束後，可以簡單地移除此保護(hù)碗，節(jié)省清節(jié)保養(yǎng)時間。經(jīng)由高品質(zhì)設(shè)計，也可以將維護(hù)成本最小化。因此，SAWATEC旋塗機(jī)可被優(yōu)先應(yīng)用於實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)與小批量生產(chǎn)。
該旋塗機(jī)可提供便攜桌上型、內(nèi)嵌式和落地型。

功能(基本配置)
- 可編程，最多 50 個程式 (各包含 24 個程序段)
- 適用於重複製程的快速啟動功能
- 觸控面板控制，方便使用者程序配置
- 工藝參數(shù)：轉(zhuǎn)速、加速度、製程時間
- 旋轉(zhuǎn)方向可選 (順時針、逆時針)
- 通過具有安全保護(hù)的真空系統(tǒng)進(jìn)行基板固定
- 製程結(jié)束時的提醒聲音信號

性能數(shù)據(jù)
- 轉(zhuǎn)速範(fàn)圍：0 到 10,000rpm +/-1rpm
- 轉(zhuǎn)速加速度：0–8,000rpm 為0.8秒/0–10,000rpm 為1秒 
- 減速度：10,000rpm-0 為2.5秒/8,000rpm-0 為0.8秒 
- 工藝時間最長為 2376 s
- 每個程序段的供膠時間為 99 s
 

[適用產(chǎn)業(yè)&應(yīng)用範(fàn)圍]

半導(dǎo)體，發(fā)光二極體，模組及其他等。