產(chǎn)品介紹
平面顯示器
Spin Modules : SM series
[簡(jiǎn)介&摘要]
旋轉(zhuǎn)塗佈機(jī) SM系列是手動(dòng)或半自動(dòng)薄膜塗佈的最佳選擇,適用於表面沒有或有非常矮結(jié)構(gòu)的晶圓或基板塗佈作業(yè)。所有市面上的光阻與塗層材料都可應(yīng)用。適用產(chǎn)品尺寸,從樣品尺寸 8mm 到12" 晶圓,皆可使用。
SM 系列的優(yōu)點(diǎn)在於,具有令人信賴的膜厚均一性和製程重複性,並且操作簡(jiǎn)單。為了使花費(fèi)在製程區(qū)清潔上的時(shí)間最小化,SAWATEC 開發(fā)了一種非常實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的製程區(qū)保護(hù)碗。製程結(jié)束後,可以簡(jiǎn)單地移除此保護(hù)碗,節(jié)省清節(jié)保養(yǎng)時(shí)間。經(jīng)由高品質(zhì)設(shè)計(jì),也可以將維護(hù)成本最小化。因此,SAWATEC旋塗機(jī)可被優(yōu)先應(yīng)用於實(shí)驗(yàn)室,研發(fā)與小批量生產(chǎn)。
該旋塗機(jī)可提供便攜桌上型、內(nèi)嵌式和落地型。
功能(基本配置)
- 可編程,最多 50 個(gè)程式 (各包含 24 個(gè)程序段)
- 適用於重複製程的快速啟動(dòng)功能
- 觸控面板控制,方便使用者程序配置
- 工藝參數(shù):轉(zhuǎn)速、加速度、製程時(shí)間
- 旋轉(zhuǎn)方向可選 (順時(shí)針、逆時(shí)針)
- 通過具有安全保護(hù)的真空系統(tǒng)進(jìn)行基板固定
- 製程結(jié)束時(shí)的提醒聲音信號(hào)
性能數(shù)據(jù)
- 轉(zhuǎn)速範(fàn)圍:0 到 10,000rpm +/-1rpm
- 轉(zhuǎn)速加速度:0–8,000rpm 為0.8秒/0–10,000rpm 為1秒
- 減速度:10,000rpm-0 為2.5秒/8,000rpm-0 為0.8秒
- 工藝時(shí)間最長(zhǎng)為 2376 s
- 每個(gè)程序段的供膠時(shí)間為 99 s
[適用產(chǎn)業(yè)&應(yīng)用範(fàn)圍]
半導(dǎo)體,發(fā)光二極體,模組及其他等。
[規(guī)格&型號(hào)]
SM-150/SM-200/SM-300/SM-600/SM-900
SM-150 對(duì)應(yīng)150mm圓形/5" x 5"方形基板
SM-200 對(duì)應(yīng)200mm圓形/6" x 6"方形基板
SM-300 對(duì)應(yīng)300mm圓形/8" x 8"方形基板
SM-600 對(duì)應(yīng)600mm圓形/16" x 16"方形基板
SM-900 對(duì)應(yīng)900mm圓形/24" x 24"方形基板
真空吸盤尺寸
- 真空吸盤試樣
- 真空吸盤1“至3”圓
- 真空吸盤100mm(4“)至150mm(6”)
- 真空吸盤100x100mm(4“x4”)
- 真空吸盤125x125mm(5“x5”)
[選配]
- 半自動(dòng)的管式供膠系統(tǒng),配有手動(dòng)供膠手臂和回吸功能的 50ml 玻璃注射管
- 製程區(qū)的手動(dòng)氮?dú)鉁Q(jìng)化裝置
- 用於簡(jiǎn)化操作的“啟動(dòng)/停止”腳踏開關(guān)(電纜長(zhǎng)度 1.8m)
- 經(jīng)陽(yáng)極電鍍處理的鋁製製程區(qū)
- 鋁製或 PE(聚乙烯)材料製成的製程區(qū)保護(hù)碗
- 用於 SM-150 旋塗機(jī)的真空泵
- 晶圓定位器 2”–6”(圓形)