模組

Sawatec 微影製程設(shè)備

SM-200/HP-200 duo

[簡介&摘要]
SAWATEC 雙系統(tǒng)，將旋塗模組或顯影模組與加熱板，置放在一個(gè)緊湊的框架中。堅(jiān)固的設(shè)計(jì)、高品質(zhì)和靈活組合性，可對應(yīng)於不同的基板尺寸。

雙系統(tǒng)特別適用於實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)和小批量生產(chǎn)；並可方便移動(dòng)。

[適用產(chǎn)業(yè)&應(yīng)用範(fàn)圍]

半導(dǎo)體，發(fā)光二極體，模組及其他等。

加入詢價(jià)

[規(guī)格&型號]
SM-150/SM-200/SM-300
SM-150 對應(yīng)150mm圓形/5" x 5"方形基板
SM-200 對應(yīng)200mm圓形/6" x 6"方形基板
SM-300 對應(yīng)300mm圓形/8" x 8"方形基板

HP-150/HP-200/HP-200-Z/HP-300-Z
HP-150 對應(yīng)150mm面積，最大5mm厚度基板
HP-200 對應(yīng)200mm面積，最大18mm厚度基板
HP-300-Z 對應(yīng)300mm面積，最大20mm厚度基板