模組

Sawatec 微影製程設(shè)備

Cluster systems : CS series

[簡介&摘要]

Cluser System 是全自動 cassette-to-cassette 應(yīng)用方案。模組化 CS 系列由晶圓傳送機(jī)械手臂做傳送，搭配光學(xué)式晶圓尋邊器和三個製程站所組成。我們依照標(biāo)準(zhǔn)製程程序，開發(fā)了合適的配置。

由於模組化與靈活的設(shè)計(jì)，CS 系列可依照客戶生產(chǎn)條件，客製化解決方案 (Challenger series)

[適用產(chǎn)業(yè)&應(yīng)用範(fàn)圍]

半導(dǎo)體，發(fā)光二極體，模組及其他等。

加入詢價

[規(guī)格&型號]
CS-200-4 pioneer
iSPRAY-200/ SMD 200 or SMD-200-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate

CS-200-4 sirius
SM-200/ SMD 200 or SMD-200-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate

CS-300-4 explorer
SM-300/ SMD 300 or SMD-300-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate

CS-300-4 orbiter
iSPRAY-300/ SMD 300 or SMD-300-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate