產(chǎn)品介紹
發(fā)光二極體
SAWATEC 微影製程設(shè)備
Cluster systems : CS series
[簡(jiǎn)介&摘要]
Cluser System 是全自動(dòng) cassette-to-cassette 應(yīng)用方案。 模組化 CS 系列由晶圓傳送機(jī)械手臂做傳送，搭配光學(xué)式晶圓尋邊器和三個(gè)製程站所組成。我們依照標(biāo)準(zhǔn)製程程序，開(kāi)發(fā)了合適的配置。
由於模組化與靈活的設(shè)計(jì)，CS 系列可依照客戶生產(chǎn)條件，客製化解決方案 (Challenger series)
[適用產(chǎn)業(yè)&應(yīng)用範(fàn)圍]
半導(dǎo)體，發(fā)光二極體，模組及其他等。
[規(guī)格&型號(hào)]
CS-200-4 pioneer
iSPRAY-200/ SMD 200 or SMD-200-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate
CS-200-4 sirius
SM-200/ SMD 200 or SMD-200-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate
CS-300-4 explorer
SM-300/ SMD 300 or SMD-300-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate
CS-300-4 orbiter
iSPRAY-300/ SMD 300 or SMD-300-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate